OpTecBB OpTecBB
OpTecBB english
OpTecBB

OpTecBB Mitglied

SENTECH Instruments GmbH

Anschrift

Schwarzschildstraße 2
12489 Berlin 

Kontakt:

Tel.: 030/6392-5520
Fax: 030/6392-5522
E-Mail: info@sentech.de
URL: http://www.sentech.com

Mitglied seit: 08.04.2003
Gründung: 1990 

 

SENTECH bietet eine breite Produktpalette an spektroskopischen Ellipsometern, Laserellipsometern und Reflektometern zur Messung von Dicke und optischen Konstanten sehr dünner Schichten oder Schichtstapeln an.
SENTECH Instruments entwickelt, produziert und verkauft zudem hochqualitative Anlagen für die Plasma-Prozesstechnologie, die Atomlagenabscheidung, die Dünnschichtmesstechnik und die Photovoltaik.
SENTECH Plasmaätzanlagen und Beschichtungssysteme, einschließlich der Anlagen zur Atomlagenabscheidung, unterstützen modernste Prozesse und Anwendungen.
SENTECH Instruments bedient einen weltweiten Kundenstamm und ist im zukunftsorientierten Technologiemarkt fest etabliert. Mehr als 20 internationale Händler vertreiben die SENTECH Produkte mittlerweile, ein zusätzlicher Service Standort in Asien schafft noch mehr Kundennähe. Ganz nach dem SENTECH Motto „Erfolg durch Leistung“ realisieren unsere Mitarbeiter stets mit vollstem Engagement das höchste Maß an Effizienz und Kundenservice für unsere Kunden.

Arbeitsgebiete

  • Plasma Prozess Technologie
  • Dünnschicht-Messtechnik
  • Photovoltaik

Leistungsangebot

  • Plasmaätzen und -beschichten
  • Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Spektroskopische Ellipsometer
  • Laserellipsometer
  • Reflektometer
  • Photovoltaikanwendungen
  • Weltweiter Service

 

Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkte

Projekt Deep View
Ziel des Vorhabens, welches gemeinsam mit der TH Wildau verfolgt wird, ist die Entwicklung eines optischen Verfahrens und Aufbaus zur Vermessung von Kontaktlöchern für die 3D-chips Technologie und anderer Strukturen mit extrem hohen Aspektverhältnissen. Das Verfahren basiert auf einem neuartigen Ansatz, der klassische Interferometrie und optische Diffraktometrie kombiniert.

ANAKONDA
Innerhalb des Kooperationsprojekts ANAKONDA soll eine neue, plasmagestützte Beschichtungsmethode für flexible Schichten entwickelt werden, welche zum Bespiel im Photovoltaikbereich und in der sog. Grünen Technologien vorkommen.

 

Spezielle Ausstattung

Bei praktischen Anwendungsfragen stehen unseren Kunden erfahrene Applikationsexperten zur Verfügung. SENTECH Applikationslabore für Plasmaprozesstechnologie und Dünnschichtmesstechnik bieten mehr als 150 m2 Laborfläche für anwendungsorientierte Forschung und praktisches Anwendertraining.



aktiv im Handlungsfeld

  • Mikrosystemtechnik
  • Optische Analytik
  • Lasertechnik