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Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Anschrift

Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden 

Kontakt:

Tel.: 0351-8823-229
Fax: 0351-8823-266
E-Mail: aron.guttowski@ipms.fraunhofer.de
URL: www.ipms.fraunhofer.de

Mitglied seit: 02.11.2016
Gründung: 2003 

Das Fraunhofer IPMS mit Sitz in Dresden und seinem Institutsteil "Integrated Silicon Systems" an der BTU Cottbus-Senftenberg ist Forschungs- und Servicepartner auf dem Gebiet der Sensoren und Aktoren, ASICs, Mikrosysteme (MEMS/MOEMS), drahtlosen Datenübertragung, Industrie 4.0-Lösungen sowie Nanoelektronik und fokussiert sich auf die Anwendungsbereiche „Smart Industrial Solutions“, „Medical and Health Applications“ und „Improved Quality of Living“.
Um den hohen Ansprüchen unserer Kunden zu genügen, ist das Fraunhofer IPMS für Forschung, Entwicklung und Fertigung photonischer Mikrosysteme, die entsprechenden Halbleiter- und Mikrosystemprozesse, integrierte Aktorik/Sensorik und Beratung von der DEKRA nach der Norm DIN EN ISO 9001 zertifiziert.

Geleitet wird das Institut von Prof. Dr. Hubert Lakner und Prof. Dr. Harald Schenk.

Leistungsangebot

  • Forschung und Entwicklung
  • Kundenspezifische Machbarkeitsstudien und
  • Technologieentwicklung
  • Demonstrator- und Prototypenentwicklung
  • Qualifizierte Pilotfertigung
  • 300 mm Screening Fab

Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkte

  • MEMS- und MOEMS-Prozesse und -Bauelemente
  • Photonische Mikrosysteme und Smart Micro-Optics
  • Mikrosystemtechnik und Nanoelektronik
  • Drahtlose Mikrosysteme

Spezielle Ausstattung

  • 1500 m² Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1) mit 200 mm Wafer-Standard
  • 800 m² Reinraum mit Prozessierungsanlagen und Analysetools für 200/300 mm Wafer


aktiv im Handlungsfeld

  • Optik für Kommunikation und Sensorik
  • Mikrosystemtechnik
  • Optische Analytik